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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:桌面型單靶磁控鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSP180S-DC-GU
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。真空腔體整體采用下置靶設(shè)計(jì),濺射效果好,雜質(zhì)污染少,能*大限度的保護(hù)樣品。
詳情介紹:

本設(shè)備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設(shè)備經(jīng)過(guò)小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。真空腔體整體采用下置靶設(shè)計(jì),濺射效果好,雜質(zhì)污染少,能*大限度的保護(hù)樣品。

桌面型靶下置型磁控鍍膜技術(shù)參數(shù):

CY-MSP180S-DC-GU

樣品臺(tái)

尺寸

φ100mm

加熱

*高500

轉(zhuǎn)速

0-20可調(diào)

安裝方式

上置于腔體上蓋,樣品安裝為夾持式

磁控濺射靶

數(shù)量

2” x1 下置安裝與腔體下法蘭

 

 

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 215mm

觀察窗口

前置式 φ60mm

腔體材料

SS304

開(kāi)啟方式

上頂開(kāi)式

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

分子泵

渦輪分子泵

抽氣接口

KF40

真空測(cè)量

電阻規(guī)+電離規(guī)

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

機(jī)械泵1.1L/s  分子泵60L/s

電源配置

數(shù)量

直流電源 x1

*大輸出功率

直流電源300W

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機(jī)尺寸

550mm X 350mm X400mm

整機(jī)功率

2kW

 

 

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