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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào):TN-O1200-80MPECVD-3Z
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
該套CVD系統(tǒng)主要由:材料加熱、真空獲取、氣體測(cè)量和等離子發(fā)生器四大部分構(gòu)成。可以滿足日常的大多數(shù)CVD實(shí)驗(yàn)和各種科研要求。該CVD系統(tǒng)是材料制備過程中的理想之選。
詳情介紹:

○ 產(chǎn)品介紹

一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界面,即使您是**次操作,該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作,您根本無(wú)需專業(yè)學(xué)習(xí),為您節(jié)省大量的科研時(shí)間,真正做到事倍功半!


○ 適用范圍

可以滿足日常的大多數(shù)CVD實(shí)驗(yàn)和各種科研要求。是材料制備過程中的理想之選。


○ 產(chǎn)品特點(diǎn)

1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界面

2、系統(tǒng)高度集成:各個(gè)部分均由軟件協(xié)同進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出

3、可使實(shí)驗(yàn)步驟程序化、自動(dòng)化


○ 技術(shù)參數(shù)

工作電壓:AC220/AC110V   

工作頻率:50Hz/60hz

工作溫度:25℃~1100


測(cè)量精度:0.1

控溫精度:±1℃

加熱區(qū)長(zhǎng):400mm

恒溫區(qū)長(zhǎng):200mm

射頻頻率:13.56MHz

射頻功率:0500W(可調(diào)節(jié))

匹配模式:自動(dòng)匹配

氣體通道:3通道

氣體測(cè)量:質(zhì)量流量計(jì)

量程范圍:0~500SCCM

真空設(shè)備:分子泵組

真空測(cè)量:復(fù)合真空計(jì)



○ 免責(zé)聲明

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