小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀經(jīng)過小型化設(shè)計(jì)，將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別，大大減少了安裝場地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源，能夠用于濺射金屬材料，具有速度快溫升低等特點(diǎn)。

名稱	小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀
特點(diǎn)	速度快溫升低 可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等 小型化設(shè)計(jì)，將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別
技術(shù)參數(shù)	樣品臺(tái)： 直徑100mm，可加熱 *高溫度500℃，可旋轉(zhuǎn) 0-20rpm 可調(diào) 磁控靶槍： 2 英寸圓形平面靶,  真空腔體： Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式 直流電源： 功率 *大150W ，數(shù)量 1 真空系統(tǒng)   機(jī)械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S，  分子泵 渦輪分子泵 抽速 600L/s  真空測量 電阻規(guī)+電離規(guī)  極限真空 1.0E-4Pa  抽氣接口 KF16 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 供電電壓：AC220V 50H 整機(jī)功率 2kw 整機(jī)尺寸：550*350*400mm